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微机电系统设计与制造
作者:刘晓明,朱钟淦,刘晓明,朱钟淦,刘晓明,朱钟淦
ISBN:7-118-04121-1
出版日期: 2006-01
版次:1
开本:16开
装帧:平
页数:0
丛书:研究生系列规划教材
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本书概要地介绍 MEMS的设计与制造’全书共分7章’内容包括:MEMS的概论’MEMS的设计’集成电路(IC)基本制造技术’MEMS的制造技术’微传感器’微执行器以及 MEMS的应用及检测技术。本书针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习 MEMS技术之用。通过对本书的学习’使读者能够在集成电路制造技术方面’获得必要的知识’同时对 MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解’为开展 MEMS的研究奠

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